光电轮廓仪

简要描述：光电轮廓仪的应用范围很广，它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构，如表面粗糙度；零件表面的刻线；刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说，如量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构；镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。

基础信息

产品型号

WGL

厂商性质

生产厂家

更新时间

2021-11-03

浏览次数

1941

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

物理特性仪器

熔点仪旋光仪系列雾度仪折射仪系列金相显微镜生物显微镜光色度仪系列滴点软化点测定仪应力仪酶标仪农药残毒测定仪轮廓仪测厚仪热分析仪振动筛粒度仪

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详细介绍

WGL光电轮廓仪的产品介绍

仪器由倒置式改为正置式，更符合人们的操作习惯；
应用CMOS代替CCD，省去图象卡并提高了质量；
用低压电源代替高压电源，节省了仪器成本；
用国产的代替德国进口压电陶瓷，解决了关键部件的进口难题；
增加了自动步距和亮度校正程序，同时增加了局部放大三维立体图功能；

WGL光电轮廓仪的参数
表面微观不平深度测量范围：130?1nm
测量的重复性：sRa≤0.5nm
测量精度：8nm
物镜倍率：40X
数值孔径：0.65
仪器视场目视：f0.25mm
摄象：0.13X0.13mm
仪器放大倍数目视：500X
摄象（计算机屏幕观察）：2500X
接收器测量列阵：1000X1000
象素尺寸：5.2X5.2?m

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