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光电轮廓仪

简要描述:光电轮廓仪的应用范围很广,它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构,如表面粗糙度;零件表面的刻线;刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说,如量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构;镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。

基础信息

产品型号

WGL

厂商性质

生产厂家

更新时间

2021-11-03

浏览次数

2221
详细介绍

 

WGL光电轮廓仪的产品介绍

仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯;
应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量;
用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本;
用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题;
增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能;

 WGL光电轮廓仪的参数
表面微观不平深度测量范围:130?1nm
 测量的重复性:sRa≤0.5nm
 测量精度:8nm
 物镜倍率:40X
 数值孔径:0.65
 仪器视场  目视:f0.25mm
                摄象:0.13X0.13mm
仪器放大倍数  目视:500X 
                      摄象(计算机屏幕观察):2500X
  接收器测量列阵:1000X1000
  象素尺寸:5.2X5.2?m

 
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