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上海荆和分析仪器有限公司
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自动椭圆偏振测厚仪

  • 型   号:TPY-2
  • 价   格:52000

TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。仪器采用PCI接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

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TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪

产品详细资料

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。
仪器采用PCI接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪

上海荆和欢迎广大新老客户前来咨询 !

 

TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪

测量范围

薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10

偏振器方位角范围

0°-180°读取分辨率为0.05°

入射光波长

650nm(半导体激光器)/ 632.8nm(氦氖激光器)。

偏振器步进角

0.014°/

入射角调节范围

20°- 90°精度≤0.05°

测量膜厚

±0.5nm

光学中心高

80mm

折射率重复性精度

±0.05

测量厚度zui小示值

≤1nm

仪器测量精度

±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)

允许样品尺寸

φ10-φ140mm,厚度≤15mm

外形尺寸

580×390×320(mm)

度盘刻度

每格1度

主机重量

28kg

 

TPY-2实验主机、电控系统、PCI接口、二氧化硅膜样片、配套软件

 

TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪

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